Penumbuhan dan karakterisasi lapisan tipis higk-k material berbasis metal oksida menggunakan teknik PVD untuk aplikasi devais elektronik

  • Penumbuhan dan karakterisasi lapisan tipis higk-k material berbasis metal oksida menggunakan teknik PVD untuk aplikasi devais elektronik

    2015

Nama Peneliti (Ketua Tim)

Yudi Darma


Ringkasan Kegiatan


Capaian